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¾ÆÀÌÅÛ

ÁÖ¿ä³»¿ë

¼ÒÀç»ç¾÷

ÈíÂøÁ¦

- ¹«±âÈíÂøÁ¦ Á¦Á¶±â¼ú (HCl,Cl2 µî)
- PH3 / AsH2 Á¦°Å¿ë ÈíÂøÁ¦ °³¹ß ¹× Àû¿ë
- ÷Âø È°¼ºÅº Á¦Á¶±â¼ú
- (¾ÇÃë°¡½º, À¯µ¶°¡½º, À¯ÇØ°¡½º, ¹æ°¡¼± °¡½º µî)

Ã˸Å

- PFC Ã˸Š(CF4±âÁØ 600¡É ºÐÇØ)
- NOx Ã˸Å

½Ã½ºÅÛ»ç¾÷

Scrubber

- À̿±³È¯ÇÊÅÍ ½Ã½ºÅÛ : »ê¼º°¡½º ¹× ¿°±â¼º °¡½º
- À̿±³È¯ / Dry Scrubber ½Ã½ºÅÛ Á¦Á¶ ±â¼ú
- Wet-Scrubber ½Ã½ºÅÛ ¼³°è Á¦ÀÛ±â¼ú
- Hybrid system : À̿±³È¯½ºÅ©·¯¹ö+ÈíÂøž
- PFC ºÐÇØ Ã˸ŠScrubber

¹é¿¬Á¦°Å±â¼ú

- ³Ã°¢Å¾ ¹é¿¬Àú°¨ ½Ã½ºÅÛ Á¦ÀÛ ±â¼ú

¿­ ȸ¼ö / ¹é¿¬Á¦°Å

- STACK ¹é¿¬Àú°¨ ¹× ¿­ ȸ¼ö ½Ã½ºÅÛ Á¦ÀÛ±â¼ú

¼ÒÀ½Àú°¨ ±â¼ú

- ³Ã°¢Å¾ ¼ÒÀ½ Àú°¨±â¼ú

PSA / VSA °ø¹ý

- VOC ȸ¼ö ó¸® ±â¼ú / ¾ÇÃë ¹æÁö±â¼ú

ÇÊÅÍ»ç¾÷

ÄɹÌÄ® ÇÊÅÍ

- ¹ÝµµÃ¼/µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ÄɹÌÄ® ÇÊÅÍ Á¦ÀÛ ±â¼ú
- ¾ÇÃëÁ¦°Å¿ë ÄɹÌÄ® ÇÊÅÍ Á¦ÀÛ ±â¼ú
- °ø±â ûÁ¤±â¿ë ÇÊÅÍ Á¦ÀÛ ±â¼ú

ÀϹÝȯ°æ

¸¶½ºÅ©

- À¯ÇØ°¡½º Á¦°Å¿ë ¸¶½ºÅ© Á¦ÀÛ±â¼ú
- ¹ÙÀÌ·¯½º Á¦°Å¿ë ¸¶½ºÅ© Á¦ÀÛ±â¼ú

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- ¾ÇÃë ¹æÁö ±â¼ú
- Åä¾ç ¿À¿° º¹¿ø ±â¼ú
- ³ÃÀå°í Å»ÃëÁ¦ Á¦ÀÛ ±â¼ú